고압 알루미늄 다이캐스팅 반도체 장비 부품
고압 알루미늄 다이캐스팅은 반도체 제조 장비에 가볍고 튼튼한 부품을 만드는 데 적합한 방법입니다.
고압 알루미늄 다이캐스팅을 통해 제조 가능한 반도체 제조 장비 부품 목록:
| 부품 이름 | 설명 | 다이캐스팅의 장점 |
|---|---|---|
| 히트싱크 | 전자 부품에서 발생하는 열을 발산합니다. | 알루미늄의 높은 열전도도, 복잡한 형상 가능, 대량 생산에 비용 효율적 |
| 섀시/프레임 | 장비의 다양한 구성 요소에 대한 구조적 지원을 제공합니다. | 강도 대 중량 비율이 높고 치수 정확도가 좋습니다. |
| 진공 챔버(부품) | 정밀한 치수와 기밀한 밀봉이 필요한 진공 챔버 내부의 구성품 | 치수 정확도가 좋고 진공 밀봉을 강화하기 위한 표면 처리의 가능성이 있습니다. |
| 고정 장치 구성 요소 | 웨이퍼 핸들링을 위한 클램핑 시스템, 지깅 및 툴링 부품입니다. | 치수 정확도가 좋고 생산이 반복 가능합니다. |
| 펌프 하우징 | 진공 펌프나 기타 유체 취급 시스템을 위한 인클로저. | 쉽게 조립하고 유지관리할 수 있도록 설계할 수 있습니다. |
| 베이스 플레이트 | 다른 구성요소에 대한 지원 구조. | 강성이 높고 견고한 구조입니다. |
경량화 및 강성: 반도체 장비는 정밀한 움직임과 안정적인 구조를 요구하는 경우가 많습니다. Al HPDC는 경량화(전체 장비 무게 및 관성 감소)와 강성(응력 하에서 구조적 무결성 유지)의 균형을 제공하며, 이는 고속, 고정밀 작동에 매우 중요합니다. 이는 자동차 응용 분야에서 경량화가 연비와 핸들링을 향상시키는 것과 유사합니다.
복잡한 형상 및 통합: 반도체 제조 장비는 냉각, 가스 흐름 또는 진공 시스템을 위한 복잡한 내부 채널과 같은 복잡한 설계를 포함하는 경우가 많습니다. Al HPDC가 단일 주조로 복잡한 형상을 생산할 수 있다는 점은 부품 수를 줄이고 조립을 단순화하며 전체 시스템 성능을 향상시킬 수 있습니다. 이는 다이캐스팅을 사용하는 다른 산업에서 관찰되는 부품 통합 이점과 유사합니다.
열 관리: 다양한 공정에서 발생하는 열로 인해 효율적인 방열은 반도체 장비에서 매우 중요합니다. 알루미늄의 우수한 열전도율과 다이캐스팅이 제공하는 설계 자유도를 결합하면 최적화된 방열판 설계와 부품 내 통합 냉각 채널을 구현할 수 있습니다.
대량 생산의 경제성: 반도체 장비는 일반적으로 자동차 부품에 비해 생산량이 적지만, 특정 표준화된 부품 또는 하위 조립품은 특히 생산량이 증가하거나 설계가 더 표준화되는 경우 HPDC의 비용 효율성을 활용할 수 있습니다.
내식성: 반도체 팹 내부의 제어된 환경은 열악한 조건에 대한 노출을 최소화합니다. 그러나 알루미늄의 고유한 내식성은 다이캐스트 부품에 추가적인 내구성과 신뢰성을 제공합니다.
아래 예시 제품은 알루미늄 고압 다이캐스팅을 사용하여 생산될 수 있거나 생산되고 있는 반도체 제조 장비의 부품 리스트 입니다.
챔버 및 하우징:
- 진공 챔버 하우징 (Vacuum Chamber Housing)
- CVD 챔버 측벽 (CVD Chamber Side Wall)
- ALD 챔버 베이스 (ALD Chamber Base)
- 플라즈마 챔버 덮개 (Plasma Chamber Lid)
- 이온 주입 챔버 부품 (Ion Implant Chamber Component)
- 열처리 챔버 하우징 (Heat Treatment Chamber Housing)
- 스퍼터링 챔버 본체 (Sputtering Chamber Body)
- 에칭 챔버 측면 패널 (Etching Chamber Side Panel)
- 증착 챔버 지지대 (Deposition Chamber Support)
- 클린룸 장비 하우징 (Cleanroom Equipment Housing)
로봇 및 핸들링 시스템:
- 웨이퍼 핸들링 로봇 베이스 (Wafer Handling Robot Base)
- 로봇 암 부품 (Robot Arm Component)
- 웨이퍼 캐리어 지지대 (Wafer Carrier Support)
- 툴 체인저 하우징 (Tool Changer Housing)
- 핸들링 시스템 몸체 (Handling System Body)
- 웨이퍼 로딩/언로딩 시스템 부품 (Wafer Loading/Unloading System Component)
- 로봇 그리퍼 부품 (Robot Gripper Component)
- 컨베이어 시스템 프레임 (Conveyor System Frame)
- 자동화 시스템 부품 (Automation System Component)
- 자동차 부품 이송 시스템 프레임 (Automated Material Handling System Frame)
펌프 및 밸브:
- 진공 펌프 하우징 (Vacuum Pump Housing)
- 가스 밸브 바디 (Gas Valve Body)
- 냉각수 펌프 케이스 (Coolant Pump Case)
- 화학 약품 펌프 부품 (Chemical Pump Component)
- 배기 시스템 부품 (Exhaust System Component)
- 유량 조절 밸브 하우징 (Flow Control Valve Housing)
- 압력 조절 밸브 바디 (Pressure Control Valve Body)
- 솔레노이드 밸브 케이스 (Solenoid Valve Case)
- 진공 밸브 부품 (Vacuum Valve Component)
- 펌프 베어링 하우징 (Pump Bearing Housing)
기타 다양한 부품:
- Vacuum Chamber Parts
- Chamber 외벽
- Chamber lid
- View port housing
- Gate valve housing
- Vacuum manifold
- Isolation valve body
- Chamber liner parts
- Wafer Transfer System Parts
- Transfer arm housing
- Robot arm components
- Wafer handler frame
- Linear motion guide housing
- End effector body
- Buffer station frame
- Load port frame components
- Process Gas Delivery Parts
- Gas line manifold
- Mass flow controller housing
- Gas box frame
- Pressure regulator housing
- Gas distribution plate
- Flow control valve body
- Purge gas system housing
- Power Supply & Control Housing
- Power supply housing
- Control panel frame
- Electronic cabinet housing
- PCB mounting frame
- Connector housing
- Switch box housing
- Terminal block housing
- Cooling System Parts
- Cooling block
- Heat exchanger housing
- Coolant manifold
- Pump housing
- Flow meter housing
- Temperature control unit frame
- Cooling line connection block
- Stage & Motion System
- Stage base frame
- Linear motor housing
- Bearing housing
- Guide rail support
- Motion control housing
- Stage cooling plate
- Position sensor housing
- Optical Support Parts
- Lens holder frame
- Mirror mount housing
- Beam splitter housing
- Optical bench components
- Alignment mechanism housing
- Focus mechanism frame
- Optical sensor housing
- 기타
- 열교환기 부품 (Heat Exchanger Components)
- 배선함 (Wiring Boxes)
- 전원 공급 장치 케이스 (Power Supply Cases)
- 제어 시스템 하우징 (Control System Housings)
- 센서 마운팅 브라켓 (Sensor Mounting Brackets)
- 액츄에이터 하우징 (Actuator Housings)
- 모터 하우징 (Motor Housings)
- 감속기 케이스 (Gearbox Cases)
- 베어링 하우징 (Bearing Housings)
- 냉각 시스템 부품 (Cooling System Components)
- 가스 배관 연결 부품 (Gas Piping Connectors)
- 진공 배관 연결 부품 (Vacuum Piping Connectors)
- 전기 배선 연결 부품 (Electrical Wiring Connectors)
- 안전 장치 케이스 (Safety Device Cases)
- 진동 댐퍼 부품 (Vibration Damper Components)
- 지지대 (Support Brackets)
- 프레임 (Frames)
- 덮개 (Covers)
- 판넬 (Panels)
- 케이스 (Cases)